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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0955499(A) 申请公布日期 1997.02.25
申请号 JP19950205892 申请日期 1995.08.11
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TSUTSUMI TOSHIAKI
分类号 H01L21/76;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/60;H01L21/768;H01L29/10;H01L29/417;H01L29/423;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/320 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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