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发明名称 ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH0955170(A) 申请公布日期 1997.02.25
申请号 JP19950227117 申请日期 1995.08.10
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 INAI YUTAKA
分类号 H01J27/18;H01J37/08 主分类号 H01J27/18
代理机构 代理人
主权项
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