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发明名称 METHOD OF FORMING CONTACT HOLE IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0955430(A) 申请公布日期 1997.02.25
申请号 JP19950227560 申请日期 1995.08.11
申请人 SONY CORP 发明人 AMAGASAKI YOSHIHIRO
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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