发明名称 MANUFACTURE OF SINGLE CRYSTAL AND MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0952788(A) 申请公布日期 1997.02.25
申请号 JP19950209768 申请日期 1995.08.17
申请人 KOBE STEEL LTD 发明人 KAWANAKA TAKEO;OKADA HIROSHI;OMOTO SEIICHIRO
分类号 C30B11/00;C30B29/40;H01L21/208;(IPC1-7):C30B11/00 主分类号 C30B11/00
代理机构 代理人
主权项
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