VACUUM TREATMENT APPARATUS AND DETECTION METHOD FOR MIXING OF AIR INTO VACUUM TREATMENT APPARATUS,申请号JP19950208899-传众专利搜索

发明名称	VACUUM TREATMENT APPARATUS AND DETECTION METHOD FOR MIXING OF AIR INTO VACUUM TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号	JPH0955369(A)	申请公布日期	1997.02.25
申请号	JP19950208899	申请日期	1995.08.16
申请人	NEC CORP	发明人	MATSUMURA HIROSHI
分类号	B01J3/03;C23C16/44;C23C16/455;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	B01J3/03
代理机构		代理人
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