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发明名称 DRY ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0955367(A) 申请公布日期 1997.02.25
申请号 JP19950204735 申请日期 1995.08.10
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 GOTO FUTOSHI;HAGIWARA KENICHIRO
分类号 H05H1/46;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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