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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR AUTOMATIC FREQUENCY TUNING OF RF POWER SOURCE FOR INDUCTIVE COUPLING PLASMA REACTOR
摘要
申请公布号 JPH0955347(A) 申请公布日期 1997.02.25
申请号 JP19960028142 申请日期 1996.02.15
申请人 APPLIED MATERIALS INC 发明人 HIROJI HANAWA
分类号 H01L21/302;H01J37/32;H01L21/02;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/02;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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