| 主权项 |
1. 一种探针装置,其特征为具备有:用以安置具备与被检查体之电极成电性连接之探针的探测卡用之装置本体;安装成可动作于装置本体,并能与探测卡之探针成电性接通之测试头;用以转动测试头之转动手段;及用以朝垂直方向升降测试头之垂直移动手段。2.如申请专利范围第1项所述之探针装置,其中,前述垂直移动手段系在探测卡之上方侧令测试头对于装置本体成垂直升降。3. 如申请专利范围第1项所述之探针装置,其中,述转动手段系用以摆动测试头以令测试头朝向接近于探针卡之方向或令测试头从探测卡朝向分开之方向移动用者。4. 如申请专利范围第1项所述之探针装置,其中,前述转动手段系能在对于伴随着前述垂直移动手段所进行之测试头之升降方向成垂直之轴周围来使测试头转动。5. 如申请专利范围第1项所述之探针装置,其中,具备有能在伴随着前述垂直移动手段所进行之测试头之升降方向成垂直之水平方向予以移动测试头之水平移动手段。6. 如申请专利范围第1项所述之探针装置,其中,具备有用以销定由前述转动手段所作之测试头转动之转动锁定手段。7. 一种探针装置,其特征为具备有:用以安置具备与被检查体之电极成电性连接之探针的探测卡用之装置本体;能与探测卡之探针成电性接通之测试头;安装于装置本体,用以支承测试头成可动作之支承体;设于支承体,用以转动测试头之转动手段;及设于支承体,用以成垂直升降测试头之垂直移动手段。8. 如申请专利范围第7项所述之探针装置,其中,前述垂直移动手段系在探测卡之上方侧令测试头对于装置本体成垂直升降。9. 如申请专利范围第1项所述之探针装置,其中,前述转动手段系用以摆动测试头以令测试头朝向接近于探针卡之方向或令测试头从探测卡朝向分开之方向移动用者。10. 如申请专利范围第1项所述之探针装置,其中,前述转动手段系能在对于伴随着前述垂直移动手段所进行之测试头之升降方向成垂直之轴周围来使测试头转动。11. 如申请专利范围第1项所述之探针装置,其中,具备有能在伴随着前述垂直移动手段所进行之测试头之升降方向成垂直之水平方向予以移动测试头之水平移动手段。12. 如申请专利范围第1项所述之探针装置,其中,具备有用以销定由前述转动手段所作之测试头转动之转动锁定手段。13. 如申请专利范围第7项所述之探针装置,其中,前述转动手段具备有,支承侧试头可转动之第1支承部,及对于第1支承部令测试头转动之转动机构。14. 如申请专利范围第13项所述之探针装置,其中前述转动机构具备有,以固定于第1支承部之马达,及马达之驱动力作为转动力来传达于测试头用之转动力传达手段。15. 如申请专利范围第13项所述之探针装置,其中前述垂直移动手段系以成垂直升降前述第1支承部而使测试头成垂直升降。16. 如申请专利范围第15项所述之探针装置,其中,前述垂直移动手段具备有,支承第1支承部成可升降之第2支承部,及对于第2支承部使第1支承部成垂直升降之升降机构。17. 如申请专利范围第16项所述之探针装置,其中,前述升降机构具备有:被固定于第2支承部之马达;由马达之驱动力来转动之转动部;及将转动部之转动予以变换成第1支承部之上下部之变换机构。18. 如申请专利范围第11项所述之探针装置,其中,前述转动手段具备支承测试头成可转动之第1支承部,前述垂直移动手段具备支承第1支承部成可升降之第2支承部,前述水平移动手段具备用以移动第2支承部用之移动机构。19. 如申请专利范围第7项所述之探针装置,其中,将前述支承体对于前述装置本体安装成可移动。20. 一种测试头移动方法,其特征为;以转动安装成可转动于装置本体之测试头于安置在装置本体之上侧,以令测试头形成与探测卡成相对向,并以朝向探测卡成垂直移动形成与探测卡成平行相对向之测试头,以令测试头对于与被检查体之电极成电性连接之探测卡之探针成为电性导通。21. 一种测试头移动方法,其特征为;将安装成可动作于装置本体之测试头,对于安置在装置本体之探测卡成垂直移动,以解除与被检查体之电极成电性连接之探测卡之探针和测试头之电性导通,将测试头在探测卡上方朝着从探测卡远离方向使之转动。22. 一种测试头移动方法,其特征为;以成水平移动安装成可移动于装置本体之测试头,而使测试头位于安置测试头于装置本体之探测卡上侧位置,以转动测试头于探测卡上侧,以使测试头形成与探针卡成平行相对向,并以成垂直朝向探测卡移动与探测卡成平行相对向之测试头,而使测试头对于与被检查体之电极成电性连接之探测卡之探针成电性导通。23. 一种测试头移动方法,其特征为;将安装成可动作于装置本体之测试头,对于安置在装置本体之探测卡成垂直移动,以解除与被检查体之电极成电性连接之探测卡之探针和测试头之电性导通,将测试头朝着从深测卡远离之方向成水平移动来转动。图示简单说明:图1系有关本发明第1实施例之探针装置斜视图。图2A系从左侧面看图1之探针装置之测试头移动装置之图。图2B系图2A沿着2B-2B线之剖面图。图3系从后方看图1之探针装置之测试头移动装置之图。图4系图1之探针装置之测试头移动装置之平面图。图5系有关本发明第1实施例之探针装置斜视图。图6系以概略性地显示图5之探针装置之斜视图,用以说明由移动机构所形成之测试头之移动方向用之图。图7系显示以转动驱动机构来转动测试头时之状态的概略图。图8系以概略性地来显示图5之探针装置之转动驱动机构之斜视图。图9系显示用以锁定转动驱动机构用之锁定机构的结构图。图10系以概略性地来显示图5之探针装置之升降驱动机构及水平移动机构之斜视图。图11系显示图5之探针装置之支承框和浮动机构之斜视图。图12系显示图11所示之浮动机构之详细的斜视图。图13系显示图11所示之浮动机构及其装配构件之分解斜视图。图14A系从右方向看图6之图,显示由图5之探针装置之移动机构来移动测试头有旋转角度0度时之状态图。图14B系从右方向看图6之图,显示由图5之探针装置之移动机构来移动测试头有旋转角度90度时之状态图。图14C系从右方向看图6之图,显示由图5之探针装置之移动机构来移动测试头有旋转角度120度时之状态图。图14D系从右方向看图6之图,显示由图5之探针装置之移动机构来移动测试头有旋转角度180度时之状态图。 |
