主权项 |
1.一种线接合方法,其系以线,接续晶粒之电极与引线框架之引线者;其特征在于:在实行校准用定点之座标登录,及其后之接合点座标登录时,先将该座标与该座标登录时之摄影机所拍摄到之电极或引线之图像予以登录,其后实行接合点座标之确认及修正时,将所登录之图样显示于电视营幕上者。2.一种线接合装置,其具有:一接合工具,可将晶粒之电极与引线框架之引线以线加以接续;一摄影机,用于拍摄接合面;一XY载台,将接合工具与摄影机一同驱动于XY轴方向;一手动操作手段,以手动使前述XY载台移动,一图像记忆体,可记忆摄影机所拍摄之图像,一电视营幕,可显示前述图像;一图像演算控制部,可处理图像记忆体之图像,而算出校准用定点之偏差量;一定点基准图样记忆体,可记忆定点之基准图样;一接合点座标记忆体,可记忆定点及接合点座标;一装置演算控制部,可根据前述图像演算控制部所算出之位置偏差量,算出记忆于前述接合点座标记忆体中之接合点座标;其特征在于:设一记忆前述图像记忆体之图像资料之图像资料记忆体,于登录接合点座标于前述接合点座标记忆体时,将座标登录时之记忆于前述图像记忆体中之图像资料,记忆于前述图像资料记忆体中者。图示简单说明:第一图为本发明之线接合方法及其装置中所使用之控制回路部之一实施形态之方块图。第二图为将记忆于接合点座标记忆体中之接合点座标之特定电极显示于电视营幕上之画面图。第三图为显示复数个电极于电视营幕上之画面图。第四图为半导体元件之一例之上视图。第五图为附有显示接合顺序之序号之各电极、引线、线之称呼之说明图。 |