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发明名称 Verfahren zur Kontrastoptimierung für Fotolacke
摘要
申请公布号 DE69029603(D1) 申请公布日期 1997.02.20
申请号 DE19906029603 申请日期 1990.05.25
申请人 MOTOROLA, INC., SCHAUMBURG, ILL., US 发明人 WALDO, WHITSON GAMALIEL III, CHANDLER, ARIZONA 85224, US
分类号 G03F7/26;G03F7/16;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/26
代理机构 代理人
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