发明名称 Herstellungsverfahren für eine optische integrierte Schaltung
摘要
申请公布号 DE69214324(T2) 申请公布日期 1997.02.20
申请号 DE19926014324T 申请日期 1992.02.25
申请人 NEC CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KOMATSU, KEIRO, C/O NEC CORPORATION, MINATO-KU, TOKYO, JP;SASAKI, TATSUYA, C/O NEC CORPORATION, MINATO-KU, TOKYO, JP;KATO, TOMOAKI, C/O NEC CORPORATION, MINATO-KU, TOKYO, JP;MITO, IKUO, C/O NEC CORPORATION, MINATO-KU, TOKYO, JP
分类号 G02B6/12;G02B6/124;G02B6/125;G02B6/13;G02F1/025;H01L27/15;H01S5/00;H01S5/026;H01S5/0625;H01S5/227;H01S5/40;(IPC1-7):G02B6/12;H04B10/12;H01S3/19 主分类号 G02B6/12
代理机构 代理人
主权项
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