摘要 |
<p>Es wird eine hydraulische Presse zur Umhüllung von Halbleiterbauelementen vorgeschlagen, bei der die in einem Werkzeug befindlichen Spritzkolben (S1 bis S4) über Hydraulikleitungen (L1 bis L4) mit den Druckräumen (DZ) von weggesteuerten Zwischenkolben (Z1 bis Z4) verbunden sind. Die Zwischenkolben werden von einem gemeinsamen Antriebskolben (A1) betätigt, der druck- und weggesteuert ist.</p> |