发明名称 Fehlerdiagnose durch Prozess-Simulation
摘要
申请公布号 DE69214171(T2) 申请公布日期 1997.02.20
申请号 DE19926014171T 申请日期 1992.01.10
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KISE, TAKASHI, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;MASEGI, KOICHI, TOKYO, JP;MURATA, MAKOTA, SENDAI-SHI, MIYAGI-KEN, JP
分类号 G05B17/02;G06F11/22;G06F11/26;(IPC1-7):G05B17/00 主分类号 G05B17/02
代理机构 代理人
主权项
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