Musterherstellungsverfahren und Resist zum Benutzen in diesem Verfahren,申请号DE1991622785T-传众专利搜索

发明名称	Musterherstellungsverfahren und Resist zum Benutzen in diesem Verfahren
摘要
申请公布号	DE69122785(T2)	申请公布日期	1997.02.20
申请号	DE1991622785T	申请日期	1991.01.18
申请人	FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP	发明人	KOTACHI, AKIKO, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA 223, JP;TAKECHI, SATOSHI, MACHIDA-SHI, TOKYO 194, JP
分类号	G03F7/004;G03F7/075;G03F7/26;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/075	主分类号	G03F7/004
代理机构		代理人
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