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经营范围
发明名称
Methode zur Reduktion der Oberflächenreflektivität einer Metallschicht während der Bearbeitung eines Halbleiterbauteils
摘要
申请公布号
DE68927628(D1)
申请公布日期
1997.02.20
申请号
DE1989627628
申请日期
1989.10.27
申请人
SGS-THOMSON MICROELECTRONICS, INC., CARROLLTON, TEX., US
发明人
CHEN, FUSEN, DALLAS TEXAS 775252, US;LIN, YIH-SHUNG, CARROLLTON TEXAS 75010, US;LIOU, FU-TAI, CARROLLTON TEXAS 75016, US
分类号
H01L21/302;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/3065;H01L21/321;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/31
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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