Verfahren zur Herstellung einer Dünnfilm-Halbleitervorrichtung,申请号DE19916024012-传众专利搜索

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发明名称	Verfahren zur Herstellung einer Dünnfilm-Halbleitervorrichtung
摘要
申请公布号	DE69124012(D1)	申请公布日期	1997.02.20
申请号	DE19916024012	申请日期	1991.04.16
申请人	CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	SHINDO, HITOSHI, C/O CANON K.K., TOKYO, JP
分类号	G02F1/136;G02F1/1368;H01L21/336;H01L21/762;H01L27/12;H01L27/146;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/772	主分类号	G02F1/136
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