发明名称 Verfahren für DMOS-Transistor mit Grabenstruktur unter Verwendung von sechs Masken
摘要
申请公布号 DE69307216(D1) 申请公布日期 1997.02.20
申请号 DE19936007216 申请日期 1993.07.23
申请人 SILICONIX INC., SANTA CLARA, CALIF., US 发明人 KWAN, SZE-HON, SAN FRANCISCO, CA 94109, US;HSHIEH, FWU-IUAN, SAN JOSE CA 95129, US;CHANG, MIKE F., CUPERTINO, CA 95014, US;HO, YUEH-SE, SUNNYVALE, CA 94086, US;OWYANG, KING, ATHERTON, CA 94026, US
分类号 H01L21/265;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/336;H01L21/76;H01L29/06;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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