多功能光接收器

摘要

一种曝光装置，包含置于掩模平台上的掩模以接收照射光。掩模平台和工件平台之间有一投影透镜通过接收照射光在工件平台成像。第一标记刻在掩模上探测掩模平台和工件平台移动平行度。第二标记刻在掩模上与上述第一标记一起移动测量投影透镜放大率的变化。第三标记刻在掩模上确定投影透镜的焦点。第一光学探测部件置于工件平台上，其上刻有第四标记，以帮助第一、第二标记的移动。第二光学探测部件置于上述工件平台上，用来探测照射光。

主权项

1、一种多功能光接收器，包含：一个掩模平台，带有一个掩模，用来接收照射光并让全部或部分照射光作为经过掩模后的光通过；一个工件平台；一个投影透镜，有一个焦点，用来通过接收经过掩模后的光，在工件平台上形成一个像；一个在掩模上的第一标记，用来探测掩模平台和工件平台移动的平行度；一个在掩模上的第二标记，用于通过与该第一标记一起移动，来测量投影透镜的放大率的改变；一个在掩模上的第三标记，用来确定投影透镜的焦点；一个在工件平台上的第一光学探测部件，用以探测照射光。在此第一光学探测部件上，有一个第四标记，用来帮助该第一和第二标记的移动；以及一个在工件平台上的第二光学探测部件，用以探测照射光。在此第二光学探测部件上，有一个第五标记，用来帮助第三标记的移动。