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发明名称 METHOD OF ADMITTING GAS INTO VACUUM CHAMBER
摘要
申请公布号 RU2073745(C1) 申请公布日期 1997.02.20
申请号 RU19930053794 申请日期 1993.11.29
申请人 MOSKOVSKIJ GOSUDARSTVENNYJ INSTITUT ELEKTRONIKI I MATEMATIKI (TEKHNICHESKIJ UNIVERSITET) 发明人 VOLOGIROV ALI G;IVASHOV EVGENIJ N;KONDRASHOV PAVEL E;ORINCHEV SERGEJ M;SLEPTSOV VLADIMIR V;STEPANCHIKOV SERGEJ V
分类号 C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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