发明名称 VOLTAGE BREAKDOWN RESISTANT MONOCRYSTALLINE SILICON CARBIDE SEMICONDUCTOR DEVICES, AND METHODS OF FABRICATING SAME
摘要
申请公布号 EP0758489(A1) 申请公布日期 1997.02.19
申请号 EP19950918347 申请日期 1995.05.02
申请人 NORTH CAROLINA STATE UNIVERSITY 发明人 BALIGA, BANTVAL, JAYANT;ALOK, DEV
分类号 H01L21/04;H01L21/265;H01L21/329;H01L29/06;H01L29/24;H01L29/47;H01L29/861;H01L29/872;(IPC1-7):H01L29/06;H01L21/18 主分类号 H01L21/04
代理机构 代理人
主权项
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