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发明名称
摘要
申请公布号 JP2583962(B2) 申请公布日期 1997.02.19
申请号 JP19880113146 申请日期 1988.05.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORP 发明人 AKIMOTO MASAO
分类号 H01L29/73;H01L21/22;H01L21/225;H01L21/331;H01L21/8222;H01L27/06;H01L29/72;(IPC1-7):H01L21/225 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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