| 发明名称 |
METHOD FOR MEASURING INCLINATION/HEIGHT OF PART AND INSPECTING APPARATUS USING THE METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0949709(A) |
申请公布日期 |
1997.02.18 |
| 申请号 |
JP19950202963 |
申请日期 |
1995.08.09 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SHIBATA YUKIHIRO;IWATA HISAFUMI;KUBOTA HITOSHI;FUKUSHIMA KOICHI |
| 分类号 |
G01B11/00;G01B11/26;(IPC1-7):G01B11/00 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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