发明名称 PRODUCTION OF SILICON SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH0948695(A) 申请公布日期 1997.02.18
申请号 JP19950215512 申请日期 1995.08.02
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO LTD 发明人 WATANABE TAKASHI
分类号 C30B15/00;C30B27/02;C30B29/06;(IPC1-7):C30B29/06 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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