| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT AND SEMICONDUCTOR ELEMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0950968(A) |
申请公布日期 |
1997.02.18 |
| 申请号 |
JP19950199419 |
申请日期 |
1995.08.04 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ONO TETSUO;TOKUNAGA TAKAFUMI;ENOMOTO HIROYUKI |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/265;H01L21/3065;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/265;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
