RADICAL BEAM EMISSION APPARATUS AND RADICAL BEAM EMISSION METHOD,申请号JP19950221083-传众专利搜索

发明名称	RADICAL BEAM EMISSION APPARATUS AND RADICAL BEAM EMISSION METHOD
摘要
申请公布号	JPH0948689(A)	申请公布日期	1997.02.18
申请号	JP19950221083	申请日期	1995.08.07
申请人	EIKO ENG:KK	发明人	TAKAHASHI HIROSHI
分类号	C30B23/08;B01J19/08;H01L21/203;(IPC1-7):C30B23/08	主分类号	C30B23/08
代理机构		代理人
主权项
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