发明名称 Manufacture of etched substrates
摘要
申请公布号 IL104851(A) 申请公布日期 1997.02.18
申请号 IL19930104851 申请日期 1993.02.25
申请人 GEC-MARCONI LIMITED 发明人
分类号 H01L21/306;H01L21/308;H01L21/465;H01L21/467;H01L31/10;(IPC1-7):H01L27/14 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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