发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0951101(A) 申请公布日期 1997.02.18
申请号 JP19950200658 申请日期 1995.08.07
申请人 HITACHI LTD 发明人 MURAKAMI HIDEKAZU;HISAMOTO MASARU;KIMURA SHINICHIRO
分类号 H01L29/786;H01L21/336;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
主权项
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