发明名称 SEMICONDUCTOR ELEMENT, MANUFACTURE THEREOF AND MANUFACTURE OF CONTACT HOLE
摘要
申请公布号 JPH0951094(A) 申请公布日期 1997.02.18
申请号 JP19950199493 申请日期 1995.08.04
申请人 SONY CORP 发明人 IWABUCHI MAKOTO
分类号 H01L21/28;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址