发明名称 |
METHOD OF VAPOR GROWTH OF COMPOUND SEMICONDUCTOR |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH0950963(A) |
申请公布日期 |
1997.02.18 |
申请号 |
JP19950202111 |
申请日期 |
1995.08.08 |
申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
ITO HIROSHI;KURISHIMA KENJI |
分类号 |
H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/205 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|