SPUTTERANLAGE,申请号AT19920304870T-传众专利搜索

发明名称	SPUTTERANLAGE
摘要
申请公布号	AT147890(T)	申请公布日期	1997.02.15
申请号	AT19920304870T	申请日期	1992.05.28
申请人	DEPOSITION SCIENCES, INC.	发明人	BARTOLOMEI, LEROY A.;READ, THOMAS;SHEVLIN, CRAIG
分类号	C23C14/35;C23C14/00;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/50;C23C14/56;C23C14/58;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34;C23C14/34	主分类号	C23C14/35
代理机构		代理人
主权项
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