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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BESCHICHTUNG DER OBERFLÄCHE EINES SUBSTRATS
摘要
申请公布号 ATA112995(A) 申请公布日期 1997.02.15
申请号 AT19950001129 申请日期 1995.07.03
申请人 JOANNEUM RESEARCH FORSCHUNGSGESELLSCHAFT MBH;VOEST-ALPINE STAHL LINZ GMBH 发明人 EBNER REINHOLD DR.;LENZ WOLFGANG DIPL.ING.;KOESTERS KURT DR.;HAGLER JOSEF DIPL.ING.
分类号 C23C14/28;(IPC1-7):C23C14/28 主分类号 C23C14/28
代理机构 代理人
主权项
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