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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER KONDENSATORANORDNUNG MIT GROSSER KAPAZITÄT
摘要
申请公布号 AT148264(T) 申请公布日期 1997.02.15
申请号 AT19910112929T 申请日期 1991.08.01
申请人 INSTITUT FUR HALBLEITERPHYSIK 发明人 TEMMLER, DIETMAR, DR.-ING.
分类号 H01L21/334;H01L21/8242;H01L27/108;H01L29/94;(IPC1-7):H01L29/94 主分类号 H01L21/334
代理机构 代理人
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