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发明名称 CHEMICAL COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0945889(A) 申请公布日期 1997.02.14
申请号 JP19950194783 申请日期 1995.07.31
申请人 SHARP CORP 发明人 YAMADA ATSUSHI
分类号 H01L21/28;H01L21/338;H01L21/768;H01L29/43;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/43 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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