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发明名称 SUBSTRATE TREATER
摘要
申请公布号 JPH0945610(A) 申请公布日期 1997.02.14
申请号 JP19950212443 申请日期 1995.07.28
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 MIZOHATA YASUHIRO;KOYAMA YOSHIHIRO;HIRAE SADAO
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/027;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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