| 发明名称 |
ELECTRONIC COMPONENT, INSPECTION METHOD THEREFOR AND INSPECTION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0943268(A) |
申请公布日期 |
1997.02.14 |
| 申请号 |
JP19950191588 |
申请日期 |
1995.07.27 |
| 申请人 |
MURATA MFG CO LTD |
发明人 |
OGIURA YOSHIJI;UNAMI TOSHIHIKO;TAHODA JIYUN |
| 分类号 |
G01P15/00;G01P15/08;H01L21/66;H01L29/84;H01L41/08;(IPC1-7):G01P15/00 |
主分类号 |
G01P15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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