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发明名称 METHOD AND INSTRUMENT FOR MEASURING DUST
摘要
申请公布号 JPH0943133(A) 申请公布日期 1997.02.14
申请号 JP19950192745 申请日期 1995.07.28
申请人 SONY CORP 发明人 SUZUKI SETSUO
分类号 G01B11/08;G01N15/02;G01N15/14;H01L21/66;(IPC1-7):G01N15/14 主分类号 G01B11/08
代理机构 代理人
主权项
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