发明名称 COMPOUND SEMICONDUCTOR EPITAXIAL WAFER AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0945896(A) 申请公布日期 1997.02.14
申请号 JP19950191495 申请日期 1995.07.27
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 SASAKI YUKIO;NAGAO SHOICHI
分类号 H01L21/205;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/778 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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