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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0945907(A) 申请公布日期 1997.02.14
申请号 JP19950193543 申请日期 1995.07.28
申请人 NEC CORP 发明人 KODAMA NORIYUKI
分类号 H01L29/78;H01L21/225;H01L21/336;H01L21/8238;H01L29/08;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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