| 发明名称 |
PRODUCT INSPECTING AND MEASURING DEVICE AND METHOD OF DETECTING ABNORMALITY OF IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0945747(A) |
申请公布日期 |
1997.02.14 |
| 申请号 |
JP19950219515 |
申请日期 |
1995.08.03 |
| 申请人 |
ROHM CO LTD |
发明人 |
OKUMURA YOICHI;TAKENAKA HIDEKI |
| 分类号 |
H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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