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发明名称
CLEANER OF SEMICONDUCTOR WAFER AND METHOD OF CLEANING SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号
JPH0945652(A)
申请公布日期
1997.02.14
申请号
JP19950190239
申请日期
1995.07.26
申请人
SHARP CORP
发明人
TAKENAKA NOBUYUKI
分类号
H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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