发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0945904(A) 申请公布日期 1997.02.14
申请号 JP19950192914 申请日期 1995.07.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 TAKENAKA NOBUYUKI
分类号 H01L21/76;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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