| 发明名称 |
OVEN PORT PART STRUCTURE OF VERTICAL TYPE REACTION OVEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0945629(A) |
申请公布日期 |
1997.02.14 |
| 申请号 |
JP19950210970 |
申请日期 |
1995.07.27 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
YANAGAWA HIDEHIRO;TANIYAMA TOMOSHI |
| 分类号 |
H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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