发明名称 CLEANING METHOD OF PLASMA CVD SYSTEM AND PLASMA CVD SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH0945623(A) 申请公布日期 1997.02.14
申请号 JP19950193490 申请日期 1995.07.28
申请人 ANELVA CORP 发明人 HONDA NAMIKO
分类号 C23C16/44;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/306 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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