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发明名称
CLEANING METHOD OF PLASMA CVD SYSTEM AND PLASMA CVD SYSTEM
摘要
申请公布号
JPH0945623(A)
申请公布日期
1997.02.14
申请号
JP19950193490
申请日期
1995.07.28
申请人
ANELVA CORP
发明人
HONDA NAMIKO
分类号
C23C16/44;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/306
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
地址
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