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发明名称 PLASMA ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0945665(A) 申请公布日期 1997.02.14
申请号 JP19950193511 申请日期 1995.07.28
申请人 HITACHI SCI SYST:KK 发明人 KAWAZOE SHIGEYOSHI;ONO HIROYUKI
分类号 H05H1/46;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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