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经营范围
发明名称
CLEANER
摘要
申请公布号
JPH0945650(A)
申请公布日期
1997.02.14
申请号
JP19950215158
申请日期
1995.08.01
申请人
HITACHI LTD
发明人
ONO MOTOKO;TOMIOKA HIDEKI
分类号
B08B3/08;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
B08B3/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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