Micromechanical device with stress-free perforated diaphragm

摘要

Bauelement mit einer stressfreien Membran (4), in der rechteckige oder längliche dicht zueinander benachbarte Öffnungen (2) vorhanden sind, die mit ihrer Längsrichtung vorzugsweise in zwei parallelen Reihen entlang Linien ausgerichtet sind, die längs des Randes (3), in konstantem Abstand zum Rand oder geradlinig im Innern der Membran verlaufen. Vorzugsweise ist die Anordnung der Öffnungen so dicht gewählt, daß die Membran längs dieser Linien überall in Richtung senkrecht dazu unterbrochen ist. Bei einem Drucksensor können diese Öffnungen nach außen durch eine Verschlußschicht verschlossen sein. <IMAGE>