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发明名称 SEMICONDUCTOR PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0757844(A1) 申请公布日期 1997.02.12
申请号 EP19950918321 申请日期 1995.04.28
申请人 SEMITOOL, INC. 发明人 THOMPSON, RAYMON, F.;BERNER, ROBERT, W.;CURTIS, GARY, L.;CULLITON, STEPHEN, P.;WRIGHT, BLAINE, G.
分类号 B65G49/07;H01L21/00;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
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