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发明名称 VAPORIZING SOURCE FOR ORGANIC COMPOUND
摘要
申请公布号 JPH0941128(A) 申请公布日期 1997.02.10
申请号 JP19950198573 申请日期 1995.08.03
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 IIJIMA MASAYUKI
分类号 C23C14/12;C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 C23C14/12
代理机构 代理人
主权项
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