| 发明名称 |
DEPOSITION-PREVENTING PART FOR GOLD VAPOR DEPOSITION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0941129(A) |
申请公布日期 |
1997.02.10 |
| 申请号 |
JP19950212679 |
申请日期 |
1995.07.28 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
MASHIMA MUNETAKA |
| 分类号 |
C23C18/36;C23C14/24;C23C28/02;(IPC1-7):C23C14/24 |
主分类号 |
C23C18/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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