| 发明名称 |
Menetelmä ja laite ohutkalvojen valmistamiseksi |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FI97731(C) |
申请公布日期 |
1997.02.10 |
| 申请号 |
FI19940005612 |
申请日期 |
1994.11.28 |
| 申请人 |
ASM INTERNATIONAL N.V., |
发明人 |
SUNTOLA,TUOMO;LINDFORS,SVEN;SOININEN,PEKKA |
| 分类号 |
C30B25/02;C23C8/06;C23C10/06;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/52;C30B25/14;C30B35/00;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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